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蘇打掩膜版
蘇打玻璃常用在STN-LCD、TN-LCD、FED、EL行業(yè)專用光學(xué)掩模版基材
類別 蘇打掩膜版
常規(guī)尺寸(mm) 3"X3", 4"X4", 5"X5", 6"X6", 7"X7", 9"X9", 12"X12", 14"X17", 16"X18",20”x24”
450mm×550mm,400mm×400mm, 700mmX800mm
最大尺寸(mm) 850*1200
特殊尺寸(mm) 按客戶要求定做（XY=20~609mm）
基材厚度(mm) 1.6  2.3　3.0  4.8   7.8   8.0
鉻膜類型 　　　ARC Anti-Reflective Chrome
熱性能（℃） 710℃
溫度收縮系數(shù) 8.1*10ˉ6(20~200 ℃)
透過率 >90%(T=2.3mm；l=400nm）
折射率 1.52
垂直入射反射率 約8%（片面反射約4%）
耐酸性能 H2SO4(80℃,99%) 0.1?/min
耐堿性能 NaOH（Wt2%）0.8?/min
表面平整度 <20um（400*400*3.0mm)

小尺寸鉻版（≤9英寸）
類別 超高精度/高精度（228.6mm*228.6mm） 中精度/低精度（228.6mm*228.6mm）
線縫尺寸
（μm） 		線縫精度
（μm） 		垂直度
（urad） 		總長精度
（μm） 		位置精度
（μm） 		線縫尺寸
（μm） 		線縫精度
（μm） 		垂直度
（urad） 		總長精度
（μm） 		位置精度
（μm）
蘇打 ≥1.5 ≤0.2 ≤0.5 <0.5 ≤0.2 ≥5 ≤0.5 ≤1 ≤1 ≤0.5

大尺寸鉻版（>9英寸）
類別 超高精度/高精度（400mm*450mm） 中精度/低精度（400mm*450mm）
線縫尺寸
（μm） 		線縫精度
（μm） 		垂直度
（urad） 		總長精度
（μm） 		位置精度
（μm） 		線縫尺寸
（μm） 		線縫精度
（μm） 		垂直度
（urad） 		總長精度
（μm） 		位置精度
（μm）
蘇打 ≥3 ≤0.75 ≤0.5 ≤1 ≤0.75 >6 ≤1 ≤1.5 ≤2 ≤1
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
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