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微流道芯片

微流道芯片

Product pilot test

硅流道芯片
純硅模具是制備高深寬比微通道的理想選擇，利用硅的干法刻蝕技術(shù)，可以輕松實現(xiàn)深寬比最高達25:1的微通道結(jié)構(gòu)，而且線條寬度可控制在2微米以上，精度誤差僅在±1微米范圍內(nèi)，該方法可以彌補光刻膠在高深寬方面的不足之處。硅干法刻蝕具體流程如右圖然而，硅表面通常具有強烈的親水性，這可能導(dǎo)致PDMS芯片在脫模時黏附在硅表面，制造過程中的一大挑戰(zhàn)。為解決這個問題，通常需要對硅表面進行疏水修飾，使硅表面變得疏水，確保PDMS芯片能夠輕松從硅模具上脫離，而不受親水性的干擾（具體疏水解決方案可咨詢

特點
它對有機溶劑的耐受性
容易金屬沉積
優(yōu)越的導(dǎo)熱性,表面穩(wěn)定性
加工案例
T型液滴
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
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2024-10-23

晶圓鍵合技術(shù)，作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項核心技術(shù)，通過化學(xué)與物理的雙重作用，將兩塊經(jīng)過鏡面拋光的晶圓（同質(zhì)或異質(zhì)）緊密結(jié)合，形成穩(wěn)固的共價鍵連...

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【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
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2024-10-22

在科技飛速進步的今天，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石，其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而，這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果，而是依賴于源源不斷的高素...

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十萬個為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
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2024-10-21

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【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計時
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2024-10-18

    為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜，我們需要在蝕刻速率與對其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡，等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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