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MEMS加工

為成就您的產(chǎn)品，而努力

Work hard to make your product

鍍膜
  • 低壓化學(xué)氣相沉積
    SiNx，片內(nèi)均勻性：<±5%
  • 等離子增強 化學(xué)氣相沉積
    SiO?，SiNx，a-Si(B,P,Ge摻雜)
  • 感應(yīng)耦合 化學(xué)氣相沉積
    SiO?，SiNx，SiC(低溫、低應(yīng)力鍍膜)
  • 原子層沉積
    Al2O3、HfO2、AlN
  • 光學(xué)鍍膜
    SiO2、MgF2、ITO、TiO2、Ta2O5、ZrO2、Al2O3
  • 濺射沉積
    Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Pt、Zn、Mo、W、Ta、Ru、Si、SiC、NiCr20、Nb
  • 電子束蒸發(fā)
    Ti，Al，Ni，Ag，Cr，Sn，Pt，AuGe
  • 熱蒸發(fā)
    Sn，AuSn，Ag，Au

案例展示


                        

                      高密度金屬Al厚膜                                金屬膜沉積                       20nm HfO2  onto Si trenches                   Au Lift-off Process

                                                                                                                                    （AR=25）








【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析

2024-10-23

晶圓鍵合技術(shù)，作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項核心技術(shù)，通過化學(xué)與物理的雙重作用，將兩塊經(jīng)過鏡面拋光的晶圓（同質(zhì)或異質(zhì)）緊密結(jié)合，形成穩(wěn)固的共價鍵連...

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【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑

2024-10-22

在科技飛速進步的今天，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石，其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而，這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果，而是依賴于源源不斷的高素...

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十萬個為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
十萬個為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱

2024-10-21

一、晶圓：半導(dǎo)體制造的基石 二、芯片：封裝后的集成電路 三、Die：未封裝的晶粒 四、Die名稱的由來 德語拉絲工藝的聯(lián)系：另一種說法認為，die的起源...

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【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計時
【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計時

2024-10-18

    為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜，我們需要在蝕刻速率與對其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡，等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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