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MEMS加工

為成就您的產(chǎn)品，而努力

Work hard to make your product

特殊工藝
  • 硅、玻璃表面微加工技術(shù)
    微結(jié)構(gòu)薄膜材料：二氧化硅、氮化硅、多晶硅；金屬薄膜：Al、Au、MO、W、Pt等。
  • 表面微加工犧牲層工藝
    常用犧牲層選擇有：PI、SiO2、Si、Cu等。
  • 體硅加工技術(shù)
    可利用刻蝕等工藝對(duì)塊硅進(jìn)行準(zhǔn)三維結(jié)構(gòu)的微加工，以形成所需要的硅微結(jié)構(gòu)。
  • 通孔制作技術(shù)
    硅通孔技術(shù)（TSV）、玻璃通孔技術(shù)（TGV）


案例展示


                            

                    RF MEMS Beam Solution                             TSV（Cu&Sn鍵合）Process                                  TGV Solution









【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析

2024-10-23

晶圓鍵合技術(shù)，作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項(xiàng)核心技術(shù)，通過(guò)化學(xué)與物理的雙重作用，將兩塊經(jīng)過(guò)鏡面拋光的晶圓（同質(zhì)或異質(zhì)）緊密結(jié)合，形成穩(wěn)固的共價(jià)鍵連...

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【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑

2024-10-22

在科技飛速進(jìn)步的今天，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石，其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而，這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果，而是依賴于源源不斷的高素...

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十萬(wàn)個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
十萬(wàn)個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱

2024-10-21

一、晶圓：半導(dǎo)體制造的基石 二、芯片：封裝后的集成電路 三、Die：未封裝的晶粒 四、Die名稱的由來(lái) 德語(yǔ)拉絲工藝的聯(lián)系：另一種說(shuō)法認(rèn)為，die的起源...

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【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)
【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)

2024-10-18

    為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜，我們需要在蝕刻速率與對(duì)其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡，等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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