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MEMS加工

為成就您的產(chǎn)品，而努力

Work hard to make your product

器件封裝
  • 倒裝鍵合
    芯片尺寸：5*5mm-5*5cm 厚度<2mm，溫度<450℃ 精度：±3μm，壓力<100kg，2寸晶圓對(duì)晶圓鍵合
  • 晶圓鍵合
    陽極鍵合、共晶鍵合（PbSn，AuSn，CuSn，AuSi等等）、膠鍵合（BCB，SU8，鍵合專用膠)，對(duì)準(zhǔn)精度±5μm
  • 點(diǎn)膠
    工作范圍：≤300*300mm，膠量控制：容積式和氣壓式，膠水黏度<50kCPS，單次膠量<0.16900ml，時(shí)間設(shè)置范圍<9.999sec
  • 貼片
    銀漿、焊料
  • 引線
    球形焊、楔形焊；Au線，Al線
  • 回流爐
    真空：2mbar，溫度<450℃±0.05℃
  • 平行封焊
    各類金屬管殼，位置精度：±0.0381mm，壓力<5kg
  • TSV（硅通孔）工藝
    1、通孔的形成；2、絕緣層、阻擋層和種子層的淀積；3、電鍍填充，去除和再布線；4、晶圓減??；5、鍵合、劃片
  • TGV（玻璃通孔工藝）
    可完成打孔、沉積、填充再布線、減薄、鍵合劃片等。





    • 案例展示


                               

            底層管芯與頂層管芯堆疊連接            Cu-Cu Metal Diffusion Bond             TSV（Cu&Sn鍵合）Process            Ultra High Density TGV For MEMS







    【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
    【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析

    2024-10-23

    晶圓鍵合技術(shù)，作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項(xiàng)核心技術(shù)，通過化學(xué)與物理的雙重作用，將兩塊經(jīng)過鏡面拋光的晶圓（同質(zhì)或異質(zhì)）緊密結(jié)合，形成穩(wěn)固的共價(jià)鍵連...

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    【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
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    2024-10-22

    在科技飛速進(jìn)步的今天，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石，其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而，這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果，而是依賴于源源不斷的高素...

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    十萬個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
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    2024-10-21

    一、晶圓：半導(dǎo)體制造的基石 二、芯片：封裝后的集成電路 三、Die：未封裝的晶粒 四、Die名稱的由來 德語拉絲工藝的聯(lián)系：另一種說法認(rèn)為，die的起源...

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    【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)
    【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)

    2024-10-18

        為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜，我們需要在蝕刻速率與對(duì)其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡，等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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