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MEMS加工

為成就您的產(chǎn)品，而努力

Work hard to make your product

外延生長(zhǎng)·摻雜
  • 金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積
    GaN，GaAs
  • 化學(xué)氣相沉積
    SIC
  • 離子注入
    B，P，F(xiàn)，Al，N，Ar，H，He，Si
  • 高溫氧化
    1150℃
  • 高溫?cái)U(kuò)散/退火
    900℃-1100℃
  • 快速退火
    150℃-1000℃

案例展示


                                                    

                                         Diamond-coated wafers                                                                                      晶圓圓片長(zhǎng)膜、圖形化



【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析

2024-10-23

晶圓鍵合技術(shù)，作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項(xiàng)核心技術(shù)，通過化學(xué)與物理的雙重作用，將兩塊經(jīng)過鏡面拋光的晶圓（同質(zhì)或異質(zhì)）緊密結(jié)合，形成穩(wěn)固的共價(jià)鍵連...

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【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑

2024-10-22

在科技飛速進(jìn)步的今天，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石，其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而，這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果，而是依賴于源源不斷的高素...

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十萬(wàn)個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
十萬(wàn)個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱

2024-10-21

一、晶圓：半導(dǎo)體制造的基石 二、芯片：封裝后的集成電路 三、Die：未封裝的晶粒 四、Die名稱的由來(lái) 德語(yǔ)拉絲工藝的聯(lián)系：另一種說(shuō)法認(rèn)為，die的起源...

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【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)
【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)

2024-10-18

    為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜，我們需要在蝕刻速率與對(duì)其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡，等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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