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MEMS加工

為成就您的產(chǎn)品，而努力

Work hard to make your product

切割·減薄
  • 研磨/減薄
    Si，GaAs，GaN，InP，玻璃，藍(lán)寶石，陶瓷等；均勻性：±2um
  • 拋光
    Si，GaAs，GaN，InP，玻璃，藍(lán)寶石，陶瓷等；表面粗糙度：1-50nm
  • 激光切割
    Si基MEMS產(chǎn)品，樣品厚度：100-700μm， 切割寬度：≤10μm， 樣品尺寸：8寸（向下兼容）
  • 刀片切割
    8英寸卡盤，不同材料選用不同刀片Si，Ge，玻璃，石英，陶瓷，電路板
  • 解理機(jī)
    GaAs，InP



案例展示


                       

                       PZT                                       電容器（ AI ）                              多層陶瓷電容器                               LED-GaAs









【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析

2024-10-23

晶圓鍵合技術(shù)，作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項(xiàng)核心技術(shù)，通過化學(xué)與物理的雙重作用，將兩塊經(jīng)過鏡面拋光的晶圓（同質(zhì)或異質(zhì)）緊密結(jié)合，形成穩(wěn)固的共價(jià)鍵連...

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【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑

2024-10-22

在科技飛速進(jìn)步的今天，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石，其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而，這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果，而是依賴于源源不斷的高素...

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十萬個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
十萬個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱

2024-10-21

一、晶圓：半導(dǎo)體制造的基石 二、芯片：封裝后的集成電路 三、Die：未封裝的晶粒 四、Die名稱的由來 德語拉絲工藝的聯(lián)系：另一種說法認(rèn)為，die的起源...

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【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)
【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)

2024-10-18

    為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜，我們需要在蝕刻速率與對(duì)其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡，等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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