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MEMS代工工藝之濕度傳感器
點擊量：1436 日期：2021-09-18 編輯：硅時代
濕敏元器件可以分為：電阻器式和電容傳感器二種：
１、濕敏電阻的特性是在基片上遮蓋一層用感濕原材料做成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸汽吸咐在感濕膜上時，元器件的電阻和阻值都產(chǎn)生變化，運用這一特點就可以測量濕度；
2、濕敏電容器一般是用高分子材料薄膜電容做成的，常見的纖維材料有聚乙烯、聚酰亞胺膜、酪酸醋酸纖維等。當(dāng)自然環(huán)境濕度發(fā)生改變時，濕敏電容器的導(dǎo)熱系數(shù)產(chǎn)生變化，使其容量也產(chǎn)生變化，其電容器變化量與相對性濕度正比。
