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mems設(shè)計之硅壓阻式壓力傳感器設(shè)計
點擊量：1151 日期：2022-04-12 編輯：硅時代
mems設(shè)計之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而改變輸出電信號。在傳感器設(shè)計上，為了使傳感器具備良好線性輸出，要考慮其最大變形量，敏感薄膜表面最大應(yīng)力差以及敏感芯片的壓敏電阻變化率，以滿足器件抗過載和輸出靈敏度的要求。
