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微納加工制造用超高純電子氣體
點(diǎn)擊量：646 日期：2022-08-16 編輯：硅時代
“微納加工制造用超高純電子氣體”是國家在2017年度重點(diǎn)研發(fā)計劃，是由多家企業(yè)和多所高校聯(lián)合申請，該項目研究很大程度上可以促進(jìn)微納電子制造用戰(zhàn)略性先進(jìn)材料的國產(chǎn)化電子氣體在半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用十分廣泛，在薄膜，光刻，刻蝕，摻雜，氣相沉積以及擴(kuò)散等環(huán)節(jié)都有所應(yīng)用，是支撐半導(dǎo)體發(fā)展必不可少的基礎(chǔ)性原材料。
