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2023-07-26
PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition）是等離子增強化學(xué)氣相淀積，該技術(shù)是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極...
2023-07-25
MOCVD全稱是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積設(shè)備），是在氣相外延（VPE）的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一...
2023-07-25
MEMS傳感器種類繁多，主要的MEMS傳感器包括運動傳感器、壓力、麥克風(fēng)、環(huán)境、光傳感器等。其中運動傳感器可分為陀螺儀、加速度計、磁力計，&...
2023-07-25
在材料、微電子等研究課題中，制作高品質(zhì)的電極是準確反映材料或者器件本身性能的前提條件，為此我們需要制作一個高品質(zhì)的電極。在此，光刻中剝離（li...
2023-07-24
（1）負載效應(yīng) 刻蝕中還存在負載效應(yīng)，即發(fā)生刻蝕速率變慢的情況。分為宏觀負載效應(yīng)和微觀負載效應(yīng)?？涛g面積很大時，因為氣體傳輸受限和刻蝕氣體耗盡...
2023-07-24
原子層沉積（Atomic layer deposition)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在...
