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常規(guī)ICP刻蝕的操作流程
點(diǎn)擊量：1946 日期：2023-10-13 編輯：硅時(shí)代
（一）裝片：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標(biāo)下Stop，切換至Vent ，120s 后打開 Loadlock；2，涂抹真空油脂：根據(jù)片子尺寸大小，在托盤上涂抹均勻一層油脂；3.放片：放片的時(shí)候要用鑷子輕輕夾住樣片，將樣片一邊貼在油脂上，慢慢地放下另一邊。用鑷子按住樣片一端， 在油脂上稍稍一動(dòng)樣片， 以便趕走樣片與油脂之間的氣泡， 使得樣片與油脂緊密粘在一起。（注意：如果用力過大，片子可能會(huì)碎裂）。
（二） 抽真空：1，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標(biāo)開啟小機(jī)械泵，預(yù)抽L(zhǎng)oadlock，至真空度到-2 時(shí)可以進(jìn)行刻蝕操作；2，選擇所需加熱模式，根據(jù)樣品選擇所需加熱模式Heater or Chiller( 冷卻裝置)，設(shè)定加熱或冷卻溫度。當(dāng)溫度與真空度達(dá)到要求后進(jìn)入Chamber 界面。
（三）刻蝕：1，根據(jù)要求設(shè)定程序， 確定工藝參數(shù)（氣體流量、ICP功率、RF功率、壓力、溫度、時(shí)間等）；2.程序運(yùn)行時(shí)，看起輝是否正常，適當(dāng)修正匹配功率。
（四）取片：刻蝕完畢后，在Pump 界面點(diǎn)擊左邊Pump 圖標(biāo)下Stop，切換至Vent，打開Loadlock
（五）去真空油脂：參照光刻工藝操作規(guī)范相的去膠工藝步驟操作。結(jié)束后，檢測(cè)并完成實(shí)驗(yàn)記錄，移交樣品。
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