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mems代加工服務(wù)的地方
點擊量：1196 日期：2020-05-19 編輯：硅時代
MEMS代加工服務(wù)商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠：
IDM廠商提供的MEMS代工包括博世、意法半導(dǎo)體、索尼、德州儀器等
純MEMS代工廠主要分為以下三類：
1. 大批量量產(chǎn)MEMS代工廠
國外代工廠：Silex Microsystems、Teledyne DALSA、Asia Paci?c Microsystems，X-FAB ，Innovative Micro Technology等
國內(nèi)代工廠：臺積電，中芯國際，華宏宏力，華潤上華等；
2. 小批量中試線：蘇州納米城6寸MEMS中試線，上海新微8寸MEMS中試線，淄博6寸MEMS中試線等；
3. 研發(fā)產(chǎn)品開發(fā)工藝平臺：北京微電子所加工平臺,蘇州納米所加工平臺，上海微系統(tǒng)所加工平臺，上海交通大學(xué)先進電子材料與器件校級平臺等高校和研究所對外開放工藝平臺。
