MEMS加工在MEMS陀螺儀領(lǐng)域的應(yīng)用。陀螺儀的另一種叫法又稱角速度傳感器，從定義上來看陀螺儀是測量載體角運動或者角速度的傳感器從應(yīng)用的角度上來看，陀螺儀多用于導(dǎo)航、定位等系統(tǒng)常用實例如手機GPS定位導(dǎo)航、衛(wèi)星三軸陀螺儀定位，其陀螺儀的精度在整個過程中起到了至關(guān)重要的作用，也就是高精度的陀螺儀直接決定了慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的精度以及制導(dǎo)和自動控制系統(tǒng)的性能品質(zhì)。

陀螺儀的分類：按照轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動的自由度分成雙自由度陀螺儀(也稱三自由度陀螺儀)和單自由度陀螺儀（也稱二自由度陀螺儀）,前者用于測定飛行器的姿態(tài)角，后者用于測定姿態(tài)角速度，因此常稱單自由度陀螺儀為。但通常多按陀螺儀中所采用的支承方式分類。例如：陀螺儀分為，壓電陀螺儀，微機械陀螺儀，光纖陀螺儀和激光陀螺儀，它們都是電子式的，并且它們可以和加速度計，磁阻芯片，GPS，做成慣性導(dǎo)航控制系統(tǒng)。

MEMS陀螺儀對微機械加工工藝具有高度的敏感性，加工工藝偏差、加工應(yīng)力以及可靠性等對MEMS陀螺儀的成品率至關(guān)重要。整個微機械加工工藝流程是實現(xiàn)MEMS陀螺儀長期穩(wěn)定工作的基礎(chǔ)，因此必須加強微機械加工工藝過程的控制。

加工精度控制

MEMS陀螺儀微敏感結(jié)構(gòu)的加工精度主要體現(xiàn)在梳齒、彈性梁等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的加工誤差控制，這直接影響了MEMS陀螺儀敏感結(jié)構(gòu)的對稱性、諧振頻率、相位以及振動穩(wěn)定性等結(jié)構(gòu)特性。

工藝參數(shù)在線控制

根據(jù)產(chǎn)品過程質(zhì)量控制的要求，需要對整個微機械加工工藝流程進行在線控制。在MEMS陀螺儀微機械加工工藝復(fù)雜流程中，應(yīng)識別出產(chǎn)品的關(guān)鍵工藝參數(shù)，建立一整套在線測試與質(zhì)量評估方法，提高微機械加工工藝一致性和成品率，如光刻對準(zhǔn)精度的在線監(jiān)測、鍵合強度的在線監(jiān)測、采用掃頻技術(shù)測量敏感結(jié)構(gòu)振動幅度與頻率的關(guān)系以及裝配過程的應(yīng)力測試等。