MEMS加工平臺的全稱是微型電子機械系統(tǒng)(MicroElectromechanicalSystem)，是利用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工藝和材料，集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械機構(gòu)、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS代表了一種先進的技術(shù)制造平臺，與傳統(tǒng)機電器件相比，MEMS器件具有體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點。

根據(jù)Yole研究預(yù)測，全球MEMS行業(yè)市場規(guī)模將從2018年的116億美元增長至2024年的約180億美元，CAGR超過8%，生物醫(yī)療、通訊、工業(yè)科學(xué)及消費電子的應(yīng)用增速均非常可觀，其中通訊、工業(yè)科學(xué)領(lǐng)域的增長率最高，預(yù)計至2024年，通訊、工業(yè)科學(xué)將成為MEMS最大的應(yīng)用領(lǐng)域，其次為生物醫(yī)療、消費類電子。預(yù)計到2024年，8億美元以上的MEMS細(xì)分領(lǐng)域包括射頻MEMS（44億美元）、光學(xué)類MEMS（8.72億美元）、MEMS慣性器件（42億美元）、麥克風(fēng)（15億美元）、噴墨頭（11億美元）、壓力傳感器（20億美元）、輻射熱測量計（9.79億美元）。

然MEMS產(chǎn)品的總體市場很大，但是由于產(chǎn)品的應(yīng)用領(lǐng)域極其廣泛以及工藝的不統(tǒng)一，各個細(xì)分市場的規(guī)模很小。每家公司即使占據(jù)1到2個產(chǎn)品線的領(lǐng)先地位，一般最多只能做到幾億美元的規(guī)模。例如，TI占據(jù)DLP市場，惠普占據(jù)打印機噴墨頭市場，安華高科技占據(jù)濾波器市場，ADI、ST、飛思卡爾和美新占據(jù)加速度計市場，樓氏占據(jù)麥克風(fēng)市場，這些企業(yè)在單個市場占據(jù)很大的市場份額

我國MEMS市場將在2021年達(dá)到850億元，2018年全球MEMS代工市場為6.85億美元，MEMS整體市場規(guī)模為116億美元，據(jù)此估算MEMS代工的價值量約占到整個MEMS產(chǎn)業(yè)的6%，假設(shè)該比例恒定，據(jù)此推算2021年我國的MEMS代工市場空間約為51億元，而目前國外企業(yè)在我國MEMS代工市場占比超過60%，意味著屆時MEMS代工市場國產(chǎn)替代空間在2021年將超過30.6億元。