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2020-02-21
SLIGA技術(shù)是H.Guckle教授等人結(jié)合硅面加工技術(shù)和常規(guī)LIGA技術(shù)而開(kāi)發(fā)出的一種新工藝。在這個(gè)工藝中，犧牲層用于加工...
2020-02-21
MEMS即Micro-Electro-Mechanical System，它是以微電子、微機(jī)械及材料科學(xué)為基礎(chǔ)，研究、設(shè)計(jì)、制造、具有特定功能的微型裝置，包括微結(jié)構(gòu)器...
2020-02-21
MEMS技術(shù)被譽(yù)為21世紀(jì)帶有革命性的高新技術(shù)，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術(shù)推動(dòng)”的綜合結(jié)果。 隨著人類(lèi)社會(huì)全面向信息化邁進(jìn)，信息系統(tǒng)的...
2020-02-21
我國(guó)MEMS的研究始于二十世紀(jì)八十年代末。經(jīng)過(guò)十多年的發(fā)展，我國(guó)在多種微型傳感器、微型執(zhí)行器和若干微系統(tǒng)樣機(jī)等方面已有一定的基礎(chǔ)和技術(shù)儲(chǔ)備，...
2020-02-21
傳統(tǒng)的制造業(yè)依賴(lài)大量的關(guān)鍵機(jī)械設(shè)備和有關(guān)的工藝，這些設(shè)備和工藝已有幾十年甚至上百年的歷史了。例如鑄造、鍛造、車(chē)削、磨削、鉆孔和電鍍等均是一個(gè)...
2020-02-21
目前正在使用的硅基微機(jī)械加工技術(shù)有三種：體硅體微機(jī)械加工、表面微機(jī)械加工 、復(fù)合微機(jī)械加工。 1.1體硅微機(jī)械加工 這種加工是將整塊材料，如...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
