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2021-11-26
由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒有殘渣飛濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高(精度可達到0.7um)等優(yōu)勢,...
2021-11-18
MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測量加速力的電子設(shè)備。加速度計目前有兩種:一種是角加速度傳感器,也叫陀螺儀;另一種是線加速度計。 ...
2021-11-05
在MEMS加工工藝中,從上到毫米,再下到微米的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)都可稱之為MEMS工藝制造,其在半導(dǎo)體和微電子工藝基礎(chǔ)上發(fā)展而來,以光刻,鍍...
2021-10-29
微納制造作為國家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一,對國家裝備實力和國民經(jīng)濟技術(shù)的發(fā)展起到重要作用。微納制造技術(shù)的進步,推動著三大前沿科技的...
2021-10-21
MEMS壓力傳感器類型眾多,其中屬硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器應(yīng)用最為廣泛,技術(shù)最為成熟。 涉及的主要工藝流程包括:薄膜制備...
2021-09-30
激光制造技術(shù)涵蓋了很多,例如激光焊接、切割、激光打孔等等,這些均為宏觀制造技術(shù);但激光微焊接、精密打孔、精密切割等技術(shù),為激光微加工技術(shù)...