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2022-05-26
基于制造業(yè)對(duì)加工精度的要求日益提高，微納加工技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生，從誕生至今，其應(yīng)用領(lǐng)域得到了很大擴(kuò)展。就國(guó)內(nèi)而言，微納技術(shù)除了應(yīng)用在微電子技術(shù)，生...
2022-05-20
常見(jiàn)的MEMS設(shè)計(jì)熱電堆傳感器有封閉膜式和懸臂梁式。 傳統(tǒng)熱電堆芯片采用濕法腐蝕工藝，CMOS-MEMS熱電堆芯片則采用干法腐蝕工藝。
2022-05-05
微納制造技術(shù)是建筑納米科技大廈的基石之一，其在傳感器上的應(yīng)用成果即MEMS傳感器，包括壓力傳感器，加速度傳感器，圖像傳感器等。這些傳感器在醫(yī)...
2022-04-12
mems設(shè)計(jì)之硅壓阻式壓力傳感器，顧名思義就是通過(guò)感知壓力變化工作的傳感器，其原理是敏感膜受壓后發(fā)生形變，引起惠斯通電橋的不平衡變化，繼而...
2022-04-01
微納加工技術(shù)是當(dāng)今時(shí)代最重要的技術(shù)之一，歷史雖然不長(zhǎng)，但發(fā)展迅速。從實(shí)際應(yīng)用來(lái)看，主要可分為兩大類，硅基微機(jī)械加工技術(shù)和非硅基微機(jī)械加工技術(shù)...
2022-03-26
MEMS器件常用的MEMS加工方法主要有表面微加工，體硅微加工，LIGA，SOI等。 1、表面微加工：一種是在硅襯底表面采用專業(yè)方法生成薄膜，并...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
