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2021-11-26
由于能量集中度高、熱影響區(qū)域小、沒(méi)有殘?jiān)w濺和熔渣、不需要特殊的氣體環(huán)境、沒(méi)有后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度高（精度可達(dá)到0.7um）等優(yōu)勢(shì)，...
2021-11-18
MEMS加工的加速度傳感器是一種能夠測(cè)量加速力的電子設(shè)備。加速度計(jì)目前有兩種：一種是角加速度傳感器，也叫陀螺儀；另一種是線加速度計(jì)。 ...
2021-11-05
在MEMS加工工藝中，從上到毫米，再下到微米的微結(jié)構(gòu)加工技術(shù)都可稱(chēng)之為MEMS工藝制造，其在半導(dǎo)體和微電子工藝基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)，以光刻，鍍...
2021-10-29
微納制造作為國(guó)家新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重大關(guān)鍵技術(shù)之一，對(duì)國(guó)家裝備實(shí)力和國(guó)民經(jīng)濟(jì)技術(shù)的發(fā)展起到重要作用。微納制造技術(shù)的進(jìn)步，推動(dòng)著三大前沿科技的...
2021-10-21
MEMS壓力傳感器類(lèi)型眾多，其中屬硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器應(yīng)用最為廣泛，技術(shù)最為成熟。 涉及的主要工藝流程包括：薄膜制備...
2021-09-30
激光制造技術(shù)涵蓋了很多，例如激光焊接、切割、激光打孔等等，這些均為宏觀制造技術(shù)；但激光微焊接、精密打孔、精密切割等技術(shù)，為激光微加工技術(shù)...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
