微特云辦公系統(tǒng)
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2022-03-15
mems即Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，意為微機電系統(tǒng)。 mems傳感器就是利用mems技術(shù)制造的傳感器。mems加工通常是由...
2022-03-02
MEMS代工之表面微機械加工是以硅片為基體，通過膜淀積和圖形加工制備三維微機械結(jié)構(gòu)。硅片本身不被加工，器件的結(jié)構(gòu)部分...
2022-01-12
CMOS被稱為互補金屬氧化物半導(dǎo)體，是IC集成電路制造工藝中的一種，使用廣泛。 MEMS中文名微電子機械系統(tǒng)，是具備獨立功能的智能系統(tǒng)...
2021-12-25
MEMS設(shè)計表面微加工指通過沉積多層薄膜和圖形制備三維微機結(jié)構(gòu)的一種加工方式。其常用的薄膜材料主要有：多晶硅，氮化硅，氧化硅， PSG（磷硅酸...
2021-12-11
mems傳感器要處于最佳工作狀態(tài)，需要通過各種軟件對測量過程進行管理和調(diào)節(jié)，并對數(shù)據(jù)進行各種處理，進而增加傳感器功能，提高其性能指標(biāo)。高質(zhì)...
2021-12-03
聚焦離子束（FIB）技術(shù)是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進行納米加工。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割...
