微特云辦公系統(tǒng)
電話：15301560529
新聞
News
2020-05-22
微納加工氧化工藝是在高溫下，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應(yīng)生成SiO2，后續(xù)O2通過SiO2層擴散到Si/SiO2界面，繼續(xù)與Si發(fā)生反應(yīng)增加SiO2薄膜的厚...
2020-05-19
mems加工，mems代工服務(wù)的地方 MEMS代加工服務(wù)商分為IDM廠商提供的MEMS代工和純MEMS代工廠： IDM廠商提供的MEMS代工包括博世...
2020-04-07
MEMS加速度傳感器是一個力傳感器，通過測量固定質(zhì)量塊在受到加速度作用時產(chǎn)生的力來測得加速度，包括彈性梁、質(zhì)量塊、固定框幾個部分，其加速度計...
2020-03-31
微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉(zhuǎn)移和直接加工兩種技術(shù)，圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)包括三個部分：薄膜沉積，圖形成像，圖形轉(zhuǎn)移。而直接加工的激光束蝕刻技術(shù)...
2020-03-26
微納加工工藝沉積SiO2薄膜主要通過氧化和cvd兩種工藝方法。 氧化工藝是在高溫下，襯底的硅直接與O2發(fā)生反應(yīng)生成SiO2，后續(xù)O2通過SiO2層擴散到...
2020-03-24
微機電工程系統(tǒng)（MicroelectromechanicalSystems，簡稱為MEMS）是將微電子技術(shù)與機械工程結(jié)合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在μm范圍之...
