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2020-03-24
液位傳感器形體小，相對(duì)性凈重較為輕，精確度高，有益于一體化的應(yīng)用，在工作壓力，高寬比，液體速度總流量，水利工程，地質(zhì)學(xué)，化工廠等診療行業(yè)獲得...
2020-03-23
mems加工表面加工工藝是基于襯底表面進(jìn)行微結(jié)構(gòu)制作的工藝，加工過程不需要對(duì)襯底進(jìn)行的去除或刻蝕，襯底主要用途是支撐微結(jié)構(gòu)。 MEMS表面加工工...
2020-03-14
1、體加工工藝 體加工工藝包括去加工（腐蝕）、附著加工（鍍膜）、改質(zhì)加工（摻雜）和結(jié)合加工（鍵合）。主要介紹腐蝕技術(shù)。腐蝕技術(shù)主要包括干法腐蝕...
2020-03-14
LIGA與準(zhǔn)LIGA技術(shù) 1986年德國W.Ehrfeld教授首先開發(fā)了進(jìn)行三維微細(xì)加工最有前途的方法——LIGA技術(shù)。 ——LI，Lithographier，即深度X射...
2020-03-13
MEMS研究的歷史 MEMS技術(shù)被譽(yù)為21世紀(jì)帶有革命性的高新技術(shù)，它的誕生和發(fā)展是“需求牽引”和“技術(shù)推動(dòng)”的綜合結(jié)果。 隨著人類社會(huì)全...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
