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  • 精準醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)
    精準醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)

    2023-08-30

    臨床醫(yī)學全面走向個性化醫(yī)療診療是當今醫(yī)學發(fā)展的一大方向,精準的體外診斷技術(shù)是正確診療的基本保證。而體外診斷基本主要是基于體液(血液,尿液,唾...

  • 套刻誤差 (Overlay)
    套刻誤差 (Overlay)

    2023-08-30

    光刻機的工作過程是這樣的:逐一曝光完硅片上所有的場(field),亦即分步,然后更換硅片,直至曝光完所有的硅片;當對硅片進行工藝處理結(jié)束后,更換掩...

  • 激光直寫的應(yīng)用領(lǐng)域
    激光直寫的應(yīng)用領(lǐng)域

    2023-08-29

    激光直寫光刻(laser direct write lithography,LDWL)作為一種無掩模光刻技術(shù),是利用強度可變的激光束對基片表面的抗蝕材料實施變劑量曝光,顯影...

  • 等離子刻蝕的應(yīng)用案例
    等離子刻蝕的應(yīng)用案例

    2023-08-29

    離子刻蝕主要應(yīng)用在微電子制作工藝中,所有主要的處理對象是硅,用于精確圖形轉(zhuǎn)移。此外其還廣泛應(yīng)用于等離子刻蝕平板、薄膜刻蝕以及纖維刻蝕中。 1.精...

  • 微流控芯片的制作技術(shù)(二)
    微流控芯片的制作技術(shù)(二)

    2023-08-28

    (2)熱壓法 熱壓法(hot embossing)是一種應(yīng)用較廣泛的快速復(fù)制電泳微通道的芯片制作技術(shù),適用于PMMA與PC等熱塑性聚合物材料。熱壓法的模具...

  • 點膠工藝如何不溢膠?
    點膠工藝如何不溢膠?

    2023-08-28

    點膠工藝如何不溢膠? 要避免點膠過程中的膠水溢出,可以采取以下措施: 1. 控制點膠壓力 調(diào)整點膠設(shè)備的壓力,確保膠水以適當?shù)膲毫α鞒?。過高的壓力...

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