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News
2023-08-25
（二）硅表面微機械加工技術(shù) 美國加州大學(xué)Berkeley分校的Sensor and Actuator小組首先完成了三層多晶硅表面微機械加工工藝，確立了硅表面微加工工藝...
2023-08-22
刻蝕偏差是指刻蝕以后線寬或關(guān)鍵尺寸間距的變化（見圖1）。它通常是由于橫向鉆刻引起的（見圖2），但也能由刻蝕剖面引起。當(dāng)刻蝕中要去除掩模下過量的...
2023-08-22
（1）光刻和刻蝕技術(shù) 傳統(tǒng)的用于制作半導(dǎo)體及集成電路芯片的光刻和刻蝕技術(shù)，是微流控芯片加工工藝中最基礎(chǔ)的。它是用光膠、掩膜和紫外光進(jìn)行微細(xì)加工...
2023-08-21
近幾十年來，等離子刻蝕技術(shù)已取得了長足發(fā)展。利用等離子刻蝕技術(shù)，人們得以準(zhǔn)確地雕刻器件結(jié)構(gòu)，從而為晶體管尺寸的縮小以及性能的提升提供了保障。...
2023-08-18
離子注入工藝是集成電路制造的主要工藝之一，它是指將離子束加速到一定能量（一般在keV 至Mev 量級范圍內(nèi))，然后注入固體材料表層內(nèi)，以改變材料表層...
