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測試服務(wù)

測試服務(wù)

Testing service

SEM(掃描電子顯微鏡)
設(shè)備描述:
此設(shè)備為緊湊型場發(fā)射掃描電鏡,成像分辨率優(yōu)于10nm。低加速電壓成像,有效減少電荷累積,非導(dǎo)電樣品,無須噴金噴碳處理,便可直接進(jìn)行觀察。
工藝能力:
?  電子槍:場發(fā)射電子源
?  加速電壓:0.5 to 2 kV
?  束流:0.2 to 1 nA 
?  分辨率:<10 nm (@1kV)
?  放大倍數(shù):250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
?  樣品尺寸:最大 100×60 mm
?  樣品高度:最大 30 mm


【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù):成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù):成功鍵合的關(guān)鍵要素解析

2024-10-23

晶圓鍵合技術(shù),作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項(xiàng)核心技術(shù),通過化學(xué)與物理的雙重作用,將兩塊經(jīng)過鏡面拋光的晶圓(同質(zhì)或異質(zhì))緊密結(jié)合,形成穩(wěn)固的共價鍵連...

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【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠(Fab)人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠(Fab)人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑

2024-10-22

在科技飛速進(jìn)步的今天,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石,其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而,這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果,而是依賴于源源不斷的高素...

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十萬個為什么:揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
十萬個為什么:揭秘“die”——單顆裸芯的別稱

2024-10-21

一、晶圓:半導(dǎo)體制造的基石 二、芯片:封裝后的集成電路 三、Die:未封裝的晶粒 四、Die名稱的由來 德語拉絲工藝的聯(lián)系:另一種說法認(rèn)為,die的起源...

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【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時
【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時

2024-10-18

    為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜,我們需要在蝕刻速率與對其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡,等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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