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測(cè)試服務(wù)

測(cè)試服務(wù)

Testing service

薄膜應(yīng)力測(cè)試
儀器簡(jiǎn)介：
薄膜應(yīng)力儀，系統(tǒng)采用非接觸MOS激光技術(shù)；不但可以對(duì)薄膜的應(yīng)力、表面曲率和翹曲進(jìn)行精確的測(cè)量，而且還可二維應(yīng)力Mapping成像統(tǒng)計(jì)分析；同時(shí)可精確測(cè)量應(yīng)力、曲率隨溫度變化的關(guān)系；
技術(shù)參數(shù)：
1.XY雙向程序控制掃描平臺(tái)掃描范圍：300mm；2m (XY)（可選）； 
2.掃描速度：20mm/s（x,y）； 
3. XY雙向掃描平臺(tái)掃描*小步進(jìn)/分辨率：1 μm； 
4.平均曲率分辨率：2×10-5 1/m (1-sigma)； 
5.中心曲率測(cè)量范圍：Minimum Concave: 2.0m，Minimum Convex: -2.0m; 
                               Maximum Concave: 50km Maximum Convex: - 50km; 
6.應(yīng)力測(cè)量精度：1% 或0.32MPa; 
7.中心應(yīng)力測(cè)量范圍：Minimum Concave: 0.32MPa Minimum Convex: 0.32MPa； 
                               Maximum Concave: 7.80 GPa Maximum Convex: 7.80 GPa
8.應(yīng)力測(cè)量分辨：0.32MPa;
9.平均應(yīng)力重復(fù)性：0.02MPa；
10.Bow測(cè)量高度：0.67mm；
11.Bow測(cè)量分辨率：30nm；



【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析
【微納加工探索】晶圓鍵合技術(shù)：成功鍵合的關(guān)鍵要素解析

2024-10-23

晶圓鍵合技術(shù)，作為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的一項(xiàng)核心技術(shù)，通過(guò)化學(xué)與物理的雙重作用，將兩塊經(jīng)過(guò)鏡面拋光的晶圓（同質(zhì)或異質(zhì)）緊密結(jié)合，形成穩(wěn)固的共價(jià)鍵連...

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【半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)透視】半導(dǎo)體制造工廠（Fab）人才培養(yǎng)的挑戰(zhàn)與路徑
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2024-10-22

在科技飛速進(jìn)步的今天，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)作為信息技術(shù)的基石，其戰(zhàn)略地位愈發(fā)凸顯。然而，這一產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展并非自然而然的結(jié)果，而是依賴于源源不斷的高素...

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十萬(wàn)個(gè)為什么：揭秘“die”——單顆裸芯的別稱
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2024-10-21

一、晶圓：半導(dǎo)體制造的基石 二、芯片：封裝后的集成電路 三、Die：未封裝的晶粒 四、Die名稱的由來(lái) 德語(yǔ)拉絲工藝的聯(lián)系：另一種說(shuō)法認(rèn)為，die的起源...

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【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)
【MEMS工藝】蝕刻工藝的精確計(jì)時(shí)

2024-10-18

    為了構(gòu)建更緊密的幾何形狀和更薄的薄膜，我們需要在蝕刻速率與對(duì)其他操作參數(shù)的精確控制之間找到微妙的平衡，等離子體蝕刻技術(shù)因其高...

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