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2023-08-04
藍(lán)寶石單晶，是純凈的三氧化二鋁（α-Al2O3），具有極好的熱導(dǎo)性、電氣絕緣性、透光性、化學(xué)穩(wěn)定性，以及耐高溫、高強(qiáng)度、高硬度等一系列優(yōu)良的特性...
2023-08-04
聚焦離子束（FIB）技術(shù)是將離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)離子槍加速，聚焦后作用到樣品表面并進(jìn)行納米加工。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故...
2023-08-03
1.離子束刻蝕（IBE）技術(shù)的原理？ 離子束刻蝕（IBE，Ion Beam Etching）也稱為離子銑（IBM，Ion Beam Milling），也有人稱之為離子濺射刻...
2023-08-03
晶圓鍵合是近十幾年快速發(fā)展起來(lái)的新興半導(dǎo)體加工技術(shù)，在MEMS，CIS和存儲(chǔ)芯片等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用，得到越來(lái)越多的關(guān)注。 在信息的海洋中，晶...
2023-08-02
1. 特征尺寸 特征尺寸又稱為線寬(CD, critical dimension)。通常大家聽(tīng)到的7 nm制程、14 nm制程中的7nm和14nm指的便是芯片的線寬。線寬指的是在...
2023-08-02
1. 直流濺射DCPVD：靶材只能是導(dǎo)體，主要用于沉積金屬柵。DCPVD是利用電場(chǎng)加速帶電離子，使離子和靶材表面原子碰撞，將后者濺射出來(lái)射...
微特云辦公系統(tǒng) 微納制造 MEMS設(shè)計(jì)
